1.魏晋南北朝时期(公元220年至589年)
由于这一时期佛教在中国内地真正的传播开来。佛教的兴盛促进了寺院建筑的发展。据《辨正论》、《法苑珠林》等史料记载，北魏、西魏、东魏由帝室建造寺院47所，王公贵族建寺839所，民众造寺3万余所，僧尼多达300万人:又据《魏书·释老志》载，北魏孝文帝太和元年(公元477年)平城京(今山西大同)内有寺院约百所，僧尼2000余人。①魏晋南北朝时期，山西境内可考的佛寺有五台山大孚灵鸳寺〔今显通寺)、五台山佛光寺、五台山北山寺(今碧山寺)、五台山菩萨顶、广济茅栩、明月池、寿宁寺等，今已成为旅游胜地的山西恒山悬空寺据说也是始建于北魏晚期的佛教寺院。山西交城玄中寺始建于北魏，据考为北魏高僧昙莺所创:山西晋城青莲寺始建于北齐，相传为北齐高僧慧远初建。另外，山西大同著名的云岗石窟寺最早开凿于北魏太和元年(公元460年)，是文成帝命高僧昙耀始凿的。石窟寺的凿建活动持续了将近百年，建造大小石窟共计千余(现存主要洞窟53个)，佛教造像五万余尊。
山西在魏晋南北朝时期所建佛寺之遗物，可考的有佛塔塔刹、佛寺石础、佛教造像、佛教经文等。如北魏千佛石塔的塔刹，现藏于朔州祟福寺;北魏太和年间铸造的金铜大立佛，一度曾密藏于五台山北山寺(今碧山寺)，现存于美国纽约大都会艺术博物馆;。山西大同、阳泉、晋城、平陆等地均发现有魏晋南北朝时期的石刻造像。这表明，佛教在魏晋南北朝时期的传播己遍及山西全境，尤以晋北地区香火最盛。
2.隋唐五代(公元S81年至960年)
唐代，山西属河东道，佛教发展更胜于前朝。高祖李渊曾在并州(今山西太原市)立义兴寺和太原寺;太宗李世民曾于贞观九年(公元635年)在太原石壁寺(今交城玄中寺)请道绰禅师为文德皇后祈福，乃诏天下名山形胜皆建佛寺。武则天，祖籍文水(今山西文水县)，以周代唐，尤崇佛教。唐显庆五年(公元660年)武则天及高宗巡幸并州，特意前往童子寺、开化寺，瞻礼两大佛像，又命僧人修五台山寺塔及并州故寺，绘山寺诸图，还准胡僧礼拜五台山并与山僧同译经论。唐大宗二年(公元848年)，宣宗诏于五台建5寺，各度僧50人，现存五台山佛光寺就是这一时期重建的。五代时期，河东佛教仍有发展，现存五台山秘密寺主玄觉大师墓塔、墓碑等，均系北汉天会七年(公元936年)时所建的。唐五代所建佛寺建筑今尚有遗存，且均在山西，即五台山南禅师、佛光寺等。
